同济大学学报(自然科学版)

作者：张爽，张万毅，徐浩然，陈旭，李晨林，王威，林忠平

单位：同济大学 机械与能源工程学院，上海 200092

关键词：风机过滤单元,性能指标限值,层次分析法,指标权重,优选

为填补风机过滤单元（fan filter units）的研究及标准中未提供设备最优选择方式的空缺，基于积累的大量FFU性能测试数据以及国内半导体行业的用户要求提出FFU各性能指标的参考限值，并提出利用层次分析法（AHP）将设备性能定性评估进行定量化求解，计算各指标所占权重，合理对FFU设备进行初期优选。总结测试数据发现，常规工况下风机过滤单元的性能逐年提升，表现为设备能耗显著降低、面风速均匀性更优、设备稳定性更强、噪声更小。各性能指标明确主观重要性后经层次分析法进行权重计算，能耗性能指数EPI 权重最大，面风速均匀性权重次之，过滤器阻力等指标权重较小。结合FFU设备性能测试结果，利用层次总排序计算出权重占比最大的设备为最优设备。

来源：2023年第2期

《同济大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

查看同济大学学报(自然科学版)杂志2023年第2期